JST KALFLUO 8520 est une sorte de matériau FFKM spécialement durci pour les applications à très hautes performances, avec une pureté élevée, une bonne résistance chimique et des propriétés de stabilité thermique. Il est principalement utilisé pour les applications de fabrication de semi-conducteurs , ce qui constitue un matériau d'étanchéité idéal pour la plupart des processus de semi-conducteurs secs ( gravure au plasma , PECVD, LPCVD, CVD métallique, PVD, ALD, nettoyage au plasma) et humides (nettoyage des plaquettes, élimination des polymères, gravure humide, polissage).

Il convient aux applications à des températures allant de –10°C à 300°C.

Propriétés physiques du KALFLUO 8520 :

Propriétés de résistance aux fluides du KALFLUO 8520 :

Détection d'éléments métalliques (immersion dans solvant) du Kalfluo 8520 :

Détection des précipitations d'éléments métalliques dans de l'eau UPDI 18 M Ω à 80 ℃ pendant 720 heures, parties par milliard (ppb, ug/L) ICP-MS-MS)

Résultat du test:

Remarques : 1- Valeur limite de détection : 1ppb ; 2- ND=Non détecté.