À mesure que la fabrication des semi-conducteurs évolue vers des procédés plus sophistiqués, les environnements d'exploitation sont devenus extrêmement exigeants : températures élevées, plasmas agressifs, gaz chimiques corrosifs et exigences de pureté strictes imposent des défis quasi insurmontables aux matériaux d'étanchéité. JST a lancé la série Kalfluo®. solutions d'étanchéité en perfluoroélastomère (FFKM) , dédié à répondre aux normes de haute performance et de haute fiabilité propres aux grandes marques internationales.

Pourquoi FFKM est le choix incontournable pour Scellage des semi-conducteurs ?

Le FFKM représente le niveau de performance le plus élevé parmi les matériaux élastomères. Sa structure moléculaire entièrement fluorée lui confère des propriétés inégalées :

• Résistance chimique exceptionnelle : résiste à presque tous les milieux chimiques, y compris les acides forts, les alcalis, les solvants et diverses substances polaires, et offre des performances exceptionnelles dans les processus de gravure humide et de nettoyage.
• Résistance exceptionnelle aux températures élevées : Notre série Kalfluo® fonctionne efficacement de -10 °C à 300 °C. Par exemple, notre nuance 8520 maintient ses performances d'étanchéité même en cas d'exposition prolongée à des températures extrêmement élevées, comme le dépôt LPCVD et les fours épitaxiaux.
• Faible dégazage et émissions : minimise les émissions volatiles dans des conditions de vide à haute température, empêchant la contamination de la chambre de traitement et préservant la pureté du dépôt de couches minces et de la manipulation des plaquettes.
• Résistance supérieure à l'érosion par plasma : résiste efficacement au bombardement par plasma dans des processus tels que la gravure à sec et le PECVD, réduisant les problèmes de surface tels que le poudrage, le suivi et la fissuration pour une durée de vie prolongée.
• Faible compression : maintient une excellente élasticité et récupération même sous une chaleur et une pression prolongées, garantissant une étanchéité durable et stable.

Joints JST fournit non seulement des normes Joints FFKM mais aussi un accompagnement complet : du choix des matériaux à la conception structurelle, en passant par la simulation par éléments finis, jusqu'à la production en salles blanches de classe 10 000. Nous garantissons que chaque produit répond aux exigences extrêmes de fiabilité et de propreté de l'industrie des semi-conducteurs.