Le caoutchouc perfluoroéther (FFKM) est un matériau d'étanchéité haute performance, dont les excellentes performances ont conduit à son application dans l'ensemble du système de fabrication de produits semi-conducteurs. Le joint FFKM est l'un des principaux consommables nécessaires à la fabrication des circuits intégrés.

Principales caractéristiques de performance du FFKM :

1) Propriétés physiques

Le FFKM a une densité de 1,9 à 2,0 g/cm³. Ses propriétés physiques et mécaniques sont similaires à celles du caoutchouc fluoré et sa résistance à la compression à haute température est supérieure à celle du caoutchouc fluoré.

2) Résistance chimique

Semblable au PTFE, le FFKM n'est affecté par aucun milieu, à l'exception de certains solvants à haute teneur en fluorocarbone, et résiste à plus de 1600 solvants chimiques tels que les acides forts, les bases fortes, les solvants organiques, la vapeur à ultra-haute température, les éthers, les cétones, les esters, les composés azotés. composés, les carbures d'hydrogène, les alcools, les aldéhydes, les furanes et les composés aminés.

3) Il résiste aux hautes et basses températures et sa température de fonctionnement est généralement de 260 ~ 290 ℃. Il peut être utilisé par intermittence pour des températures élevées de 316 ℃.

4) Résistance à la vapeur à haute température

5) Faible rejet et précipitations

6) Résistance au plasma, qui présente des caractéristiques de propreté élevée et de faible précipitation dans un environnement plasma, et peut résister à l'impact du plasma pendant une longue période.

Applications semi-conductrices du FFKM

Dans la fabrication de semi-conducteurs, la fiabilité des joints en élastomère est cruciale et le coût de remplacement des joints lorsque la production est arrêtée est extrêmement élevé. Afin d'éviter les risques potentiels, les exigences de propreté et de pureté des joints sont très strictes. Dans le même temps, les joints doivent pouvoir fonctionner sous la pression d'un vide poussé et de gaz chimiques corrosifs et dans des environnements à haute température pendant une longue période.

Le FFKM est une matière première coûteuse et est souvent utilisé pour des exigences d'étanchéité exigeantes que d'autres caoutchoucs ne peuvent pas satisfaire, comme la fabrication de semi-conducteurs. Le FFKM résiste à la corrosion plasma, à la corrosion gazeuse, à la corrosion acide et alcaline, à la corrosion à haute température et aux exigences de propreté élevées pour les joints en caoutchouc , aidant à maintenir l'intégrité du joint, à réduire les temps de maintenance et à améliorer la sécurité. C'est le meilleur matériau d'étanchéité pour la fabrication de semi-conducteurs.