Dans le monde exigeant de la fabrication des semi-conducteurs, où la pureté et la précision sont non négociables, chaque composant compte, surtout solutions d'étanchéité C'est ici que Perfluoroélastomères (FFKM) se démarquer comme le champion incontesté.

La fabrication de semi-conducteurs se déroule dans des conditions extrêmes : environnements plasma agressifs, températures élevées (souvent supérieures à 300 °C) et exposition à des produits chimiques et des agents de gravure puissants. Les élastomères standards comme le FKM (Viton®) ou le silicone peuvent se dégrader, entraînant la génération de particules, la contamination des outils et des arrêts de production imprévus et coûteux.

FFKM propose un ensemble unique de propriétés qui répondent directement à ces défis :

Résistance chimique exceptionnelle : Sa structure entièrement fluorée offre une résistance quasi universelle aux produits chimiques de traitement agressifs, au plasma et aux agents de nettoyage agressifs comme O₃, HF et les solutions SC-1/SC-2.

Pureté ultra-élevée : Les composants FFKM présentent des niveaux extrêmement faibles de métaux extractibles et d'impuretés ioniques, empêchant ainsi toute contamination susceptible d'endommager les plaquettes sensibles.

Stabilité thermique supérieure : Il conserve son élasticité et sa force d'étanchéité à des températures élevées et continues, là où d'autres élastomères durciraient et se rompraient.

Excellente résistance au plasma : Essentiel pour les chambres de gravure et de dépôt, le FFKM résiste à l'érosion et au « poudrage » causés par l'exposition directe au plasma, minimisant ainsi la génération de particules.

Principales applications dans l'usine :

CMP (Planarisation chimico-mécanique) : Joints et diaphragmes pour boues abrasives.

Chambres de gravure et de CVD (dépôt chimique en phase vapeur) : Joints toriques, joints d'étanchéité et garnitures critiques dans les modules de traitement des plaquettes.

Manipulation des plaquettes : Joints d'étanchéité pour robots, sas de chargement et modules de transfert.

Traitement par voie humide : Joints d'étanchéité pour bains et conduites transportant des acides et solvants ultra-purs.

Bien que le FFKM représente un investissement initial plus important, sa valeur est indéniable : il optimise la disponibilité des équipements, préserve le rendement et garantit l’intégrité des procédés. Dans un secteur où la finesse de gravure est primordiale et les contrôles de contamination toujours plus stricts, le FFKM n’est pas qu’un simple matériau ; c’est un élément essentiel à la fabrication de semi-conducteurs de pointe.